报告题目：高频率稳定性MEMS谐振器和振荡器关键技术研究
报告时间：2024年3月27日 15:00
报告地点：JX05-110
报告简介：时钟器件为电路系统提供时间参考和频率基准，在5G以及未来6G网络通信、汽车电子、工控安防等领域发挥重要作用，特别是未来通信基站网络设备对时钟器件提出了小尺寸、高频率稳定性、极低失效率等要求。目前市场使用最广泛的石英晶体时钟器件在微型化、温度稳定性以及可靠性等方面存在技术瓶颈，难以满足通信基站应用的持续发展需求。基于MEMS技术的硅基微机械谐振器以其微型化、高Q值、高频率-温度稳定性、低失效率等优点，成为时钟器件领域重要发展方向。本报告围绕硅基MEMS谐振器能量损耗抑制机理和频率-温度特性调控两大技术难题，重点开展机械耦合设计、锚点辅助结构、声子晶体支撑等机械声学波外泄抑制技术研究，提出机械耦合结构设计和超重掺杂/晶向调节两类被动式温度补偿方案，突破双模态以及双谐振器高精度温度测量与频率-温度补偿关键技术，研制高精度MEMS谐振器样机。希望能与各位专家学者相互交流学习。
报告人简介： 吴国强，博士，博士生导师，武汉大学工业科学研究院教授，获批国家自然科学基金优秀青年科学基金项目、湖北省自然科学基金杰出青年项目。2013年毕业于中科院上海微系统与信息技术研究所，获得工学博士学位。博士论文入选上海市优秀研究生成果（学术论文）。2014至2018年就职于新加坡科技局微电子研究院，担任研究员、项目负责人。2018年9月以武汉大学青年学术带头人身份入职武汉大学。研究方向为MEMS传感器与智能微系统。主持包含国家自然科学基金、国家重点研发计划课题、国内重要企业资助等多项科研项目。现已在IEEE JMEMS、IEEE EDL、IEEE TED、IEEE TIE、APL等本领域主流期刊发表学术论文60余篇，已获授权国家发明专利37项（含美国发明专利2项）。